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信息学院夏季学期系列学术讲座(第8讲)
[ 作者:信息科学与工程学院 来源:信息科学与工程学院 浏览:10 录入时间:2021年07月19日 ]

讲座题目:超精密三维显微测量技术与仪器

主办单位:信息科学与工程学院

主讲人:刘俭

时间:2021年7月22日 19:30-21:00

地点:M102

 

主讲人简介:

刘俭,金沙正规投注官网仪器学院院长,中青年科技创新领军人才,第八届国务院学位委员会学科评议组成员,国家NQI重点研发计划实施方案及指南专家,中国仪器仪表学会常务理事及显微仪器分会副理事长,中国计量测试学会常务理事及计量测试仪器专业委员会副主任委员,第一完成人获国家技术发明二等奖1项。

报告简介:          

在微器件与微系统制造检测中,光学显微测量存在结构敏感性和材料敏感性,是现有光学显微测量技术与仪器难以克服的原理瓶颈,本报告介绍一种中介层荧光共焦显微测量技术,采用一种测量原理同时克服光学三维显微测量中的反射逃逸效应、散射振荡效应和透波干涉干涉效应,相关仪器技术为国防重大科技工程提供了超精密测量仪器保障;另外,报告还将介绍一种三维测量的定值与仪器校准方法,用于克服三维显微测量定值的蝠翼效应影响,判定光学显微仪器三维测量中的有效表征能力,该方法用于制定我国首部共焦显微镜国家标准,同时被ISO组织采纳,填补国际标准计量的理论空白。


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